"Система развертки в растр ионного пучка для ускорителя ЭГ-5"
Луис Мигель Ледо-Переда, В.Н. Семенов, В.С. Рихвицкий, А.Н. Лихачев, Р.Ш. Исаев, А.С. Дорошкевич

В рамках проекта модернизации ускорителя ЭГ-5 и совместных работ с АО «Микрон» г. Зеленоград и АО «Ангстрем» г. Зеленоград авторами доклада разработана система развертки в растр пучка протонов для облучения кремниевых пластин диаметром 150мм. На основе электростатического ускорителя (ЭСУ) ЭГ-5 совместно с сотрудниками фирмы АО НПП «ЭСТО» г. Зеленоград разработана, изготовлена и отлажена автоматизированная система для выполнения технологической операции ионной имплантации кремниевых пластин для производства силовой электроники.

Рис. 1 Внешний вид и расположение элементов установки.